＊ 本ウェビナーは開催済みです。再開催のご要望があれば、お知らせください。
CMCリサーチウェビナー【ライブ配信】
開催日時：2022年1月31日（月）13:30～16:30
受 講 料：44,000円（税込） ＊ 資料付
＊メルマガ登録者 39,600円（税込）
＊アカデミック価格 26,400円（税込）
パンフレット
※ 本セミナーは、当日ビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
お申し込み前に、下記リンクから視聴環境をご確認ください。
→ https://zoom.us/test
★ アカデミック価格:学校教育法にて規定された国、地方公共団体および学校法人格を有する大学、大学院の教員、学生に限ります。
★【メルマガ会員特典】2名以上同時申込かつ申込者全員メルマガ会員登録をしていただいた場合、1名あたりの参加費がメルマガ会員価格の半額となります。
★ お申込み後のキャンセルは基本的にお受けしておりません。ご都合により出席できなくなった場合は代理の方がご出席ください。
講 師
関口 淳 氏 リソテックジャパン㈱ ナノサイエンス研究部 部長
【講師経歴】
1983年3月 芝浦工業大学 応用化学科 卒業
1983年4月 日本ケミテック 入社。分析研究所に勤務
1985年4月 住友GCA社に入社。レジスト塗布現像装置のプロセス開発に従事。その後、レジスト解析装置および形状シミュレータのシステム開発に従事。
現在、リソテックジャパン㈱ 専務取締役
2019年4月～ 立命館大学 客員教授
2020年4月～ 大阪府立大学 客員教授、大阪市立大学 客員教授
2000年 東京電機大学にて工学博士
応用物理学会 会員。高分子学会 会員
【活 動】
専門は、フォトリソグラフィー、バイオミメティクス。論文多数。
著書は、感光性フォトレジスト材料の評価、リソグラフィー技術・その40年、ノボラックレジスト・材料とプロセスの最適化（いずれもS&T出版）
講演多数
セミナーの趣旨
EUVレジスト材料開発と評価・プロセス技術について解説します。特に、現在、開発が進んでいる次世代 EUVレジストである、メタルレジストの特徴と評価方法についても、解説します。
セミナーで得られる知識
EUVリソグラフィーの基礎知識
EUVフォトプロセスの最適化方法の習得
EUVフォトプロセスの評価方法の習得
プログラム
※ 適宜休憩が入ります。
1．EUVLの概要
1.1 EUVLの概要
1.2 EUVL用レジスト
2．アウトガス評価技術
2.1 EUVLレジストのアウトガス評価方法
2.2 EUVLレジストのアウトガス評価装置
3．EUVレジストの評価技術
3.1 EUV透過率測定
3.2 ナノパーティクル添加レジストの高感度化
3.3 屈折率nk測定
3.4 EUV2光束干渉露光
4．EUVメタルレジストの評価技術
4.1 メタルレジストの概要
4.2 EUVメタルレジストのアウトガス分析
4.3 EUVメタルレジストの問題点
5．EUVフォトレジストと電子線レジストの感度