~大口径・高品質・低コストを実現するウェハ製造技術へ~
★SiCパワー半導体の社会実装の状況やSiCウェハ製造技術の開発動向、課題、産業動向まで分かりやすく解説!
※本セミナーはZOOMを使ったLIVE配信セミナーです。会場での参加はございません。
※【LIVE配信】はリアルタイムのご参加のみとなり、見逃し配信はございません。
R&D支援センターウェビナーのご案内
開催日時:2026年3月27日(金)10:30~16:30
開催場所:【WEB限定セミナー】※ 会社やご自宅でご受講ください。
参 加 費:55,000円(税込)
定 員
30名
備 考
———-【当日のテキスト資料について】———-
・資料付(紙媒体での配布)※データの配布はありません。
・ご自宅への送付を希望の方は送付先住所をお知らせください。
⇒お届け先のご指定がない場合は、お申し込み時の住所宛に送付いたします。
———-【Zoomを使ったWEB配信セミナー受講の手順】———-
1)Zoomを使用されたことがない方は、 こちら からミーティング用Zoomクライアントをダウンロードしてください。ダウンロードできない方はブラウザ版でも受講可能です。
2)セミナー前日までに必ず動作確認をお願いします。Zoom WEBセミナーのはじめかたについては こちら をご覧ください。
3)開催日直前にWEBセミナーへの招待メールをお送りいたします。当日のセミナー開始10分前までに招待メールに記載されている視聴用URLよりWEB配信セミナーにご参加ください。
———-【注意事項】———-
・セミナー資料の無断転載、二次利用や講義の録音、録画などの行為を固く禁じます。
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申込方法
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講 師
(国研)産業技術総合研究所 先進パワーエレクトロニクス研究センター
研究チーム長 博士(工学) 加藤 智久 氏
【ご専門】
ワイドギャップ半導体バルク単結晶成長、ウェハ加工技術、X線結晶学、鉱物学
受講対象・レベル
・SiCパワー半導体やSiC材料開発に興味のある方、結晶工学・ウェハ加工技術・材料評価技術に関心のある方
必要な予備知識
・特に予備知識は必要ありません。
習得できる知識
・半導体用SiCウェハ製造技術(結晶成長、加工、評価)の基礎知識。
・近年のSiCウェハ製造技術の開発動向や技術課題、SiCウェハ産業の今後の動向に関する情報。
趣 旨
次世代の省エネルギー電力制御機器としてEVや鉄道など社会実装が進むSiCパワー半導体。SiCウェハも8インチが量産品となり、中国を筆頭に12インチの試作も進んでいる。一方、化学的・機械的に極めて安定なSiCは、ウェハ製造もシリコンより難しい側面もある。本セミナーではSiC単結晶成長からウェハ加工、それらの材料評価技術に関する基礎から応用、最新の開発動向について解説し、高品位質で低コストなウェハを実現する製造技術の議論と共に、当該分野の国際競争力強化について検討する。
プログラム
1-1 SiCの基礎と物性
(1)身近なSiC
(2)ワイドギャップ半導体と特徴
(3)SiCウェハ
(4)他半導体材料とSiCの違い
1-2 SiCパワー半導体への応用
(1)SiCを使ったパワーエレクトロニクス技術
(2)SiCパワー素子がもたらす技術変革・応用事例
1-3 SiCウェハの材料技術開発の動向と市場の要求
(1)パワー半導体用SiCウェハ開発の歴史
(2)国内・外でのSiCウェハ開発動向
(3)SiCウェハ開発に対する今後の期待
2.SiC単結晶製造技術
2-1 SiC単結晶の合成・成長方法
(1)SiCの合成
(2)SiC単結晶の量産技術
(3)各種SiC単結晶成長技術の特徴
(4)シリコンから見たSiC単結晶製造技術の課題と期待
2-2 結晶多形と特徴
(1)SiCの結晶多形(ポリタイプ)と物性
(2)多形制御技術
2-3 結晶欠陥と制御
(1)SiC単結晶の結晶欠陥と影響
(2)SiC単結晶の欠陥評価技術
(3)SiC単結晶の欠陥抑制技術
2-4 大口径結晶の成長
(1)SiC単結晶の口径拡大成長技術
(2)大口径化がもたらす効果と技術課題
2-5 n/p型の伝導度制御
(1)SiC単結晶の伝導度制御
(2)SiC単結晶の低抵抗化技術
3.SiCウェハ加工技術
3-1 SiCのウェハ加工
(1)SiCウェハ加工工程と技術課題
3-2 ウェハ切断工程
(1)SiC単結晶の切断技術
(2)切断工程の高速化技術
(3)切断工程の課題と新しい切断技術
3-3 ウェハ研削工程
(1)SiCウェハの研削加工
(2)研削加工の高速・鏡面化技術
(3)研削工程の課題と新しい研削加工技術
3-4 ウェハ研磨工程
(1)SiCウェハの研磨加工
(2)研磨加工と研削加工の特徴や違い
(3)研磨工程の課題と新しい研削加工技術
3-5 CMP工程
(1)SiCウェハのCMP加工
(2)CMPの高速化技術
(3)CMP工程の課題と新しいCMP加工技術
3-6 加工変質層と評価
(1)加工が及ぼすSiCウェハ表面の加工変質層とその特徴
(2)加工変質層の評価技術
(3)加工変質層の抑制技術
3-7大口径化対応
(1)SiCウェハ加工における大口径化対応の技術課題
(2)大口径化対応へ向けた解決策の検討
【質疑応答】
