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S&T出版ウェビナーのご案内

       開催日時:2026年1月29日(木) 13:00~16:30
       受 講 料:46,200円(税込) ※ 資料付
       会  場:【WEB限定セミナー】※在宅、会社にいながらセミナーを受けられます。 

備 考

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講 師

田中 敦之 氏
名古屋大学 未来材料・システム研究所 附属未来エレクトロニクス集積研究センター 未来デバイス部 特任准教授

 
<講師略歴>
略歴
2003年 東京工業大学工学部卒
2008年 東京工業大学大学院 理工学研究科修了 
     シリコン量子ドットの研究で博士(工学)取得
     富士電機株式会社入社
2010年 産業技術総合研究所に出向しSiCパワーデバイスの研究・量産技術開発に従事
     主に結晶欠陥のデバイスへの影響解明と欠陥の評価手法に関する研究を行う
2015年 国立大学法人 名古屋大学に転職
     GaNのパワーデバイスの研究に従事

専門
SiC、GaNの結晶欠陥評価、加工、パワーデバイス設計、プロセス開発

セミナーの趣旨

 GaNは半導体の中でも特に用途が多岐にわたる半導体である。発光デバイスや、高周波トランジスタは既に実用化され、なくてはならないものとして利用されている。また、大きなバンドギャップと絶縁破壊電界強度に由来するパワーエレクトロニクス用のデバイス材料としての適性も有しており、既に実用化されているSi、SiCに次ぐ世代の材料であるとされている。本講演ではそんなGaNを用いたパワーデバイスの動向、課題、今後の展望についてGaNの結晶からデバイスまでの範囲で解説します。

プログラム

1. GaNについて
 ・GaNの特徴と利用
 ・パワーエレクトロニクス向きの半導体
 ・GaNで目指す社会
 ・GaNパワーデバイスができるまで
  
2. GaN関係の動向 -GaNのプレーヤーと学会動向
 ・パワー半導体基板の動向
 ・パワー半導体の動向
 ・GaNのプレーヤー
 ・QST基板
 ・学会の動向 発表内容別、国別
  
3. GaNウェハ
 3-1 ホモエピ用基板とヘテロエピ用基板
 ・GaNデバイスに用いられる基板
 ・ヘテロエピのGaNデバイス層
 ・QST基板
 ・ホモエピのGaNデバイス層
 3-2 様々なGaNの結晶成長方法とその特徴
 ・HVPE法について
 ・Na-flux法について
 ・Ammonothermal法について
 ・OVPE法について
 3-3 GaN基板のラインナップの現状
 3-4 GaN基板の加工
 ・GaN基板のスライス
 ・GaN基板のレーザスライス
 ・GaN基板の研磨
 3-5 基板・結晶評価技術・結晶欠陥
 ・転位とはGaNの場合
 ・転位の影響Siの場合
 ・転位の影響SiCの場合
 ・転位の影響GaNの場合
 ・転位の検出方法
 ・多光子PL顕微鏡
 ・複屈折顕微鏡
  
4. GaNパワーデバイス作製プロセス
 4-1 GaN結晶と半導体プロセス
 ・デバイスプロセスに必要なこと
 4-2 デバイス層結晶成長方法
 4-3 イオン注入について
 ・高温高圧アニールついて
 ・拡散について
 4-4 ゲート絶縁膜について
 4-5 ドライエッチングとウェットエッチング
 ・GaNのエッチングについて
 ・PECエッチングについて
  
5. GaNパワーデバイス
 5-1 デバイス設計と設計パラメータ
 5-2 GaNを用いた基本的なパワーデバイスの現状
 ・ノーマリオフ化手法
 ・HEMTの使用例
 ・HEMTのプロセス例
 ・HEMTについて
 ・pn接合に与える転位の影響
 ・製品化していた唯一の縦型トランジスタ
 5-3 GaNならではの特徴を用いたパワーデバイスについて
 ・PSJトランジスタ
  
6. 今後の展望