S&T出版ウェビナーのご案内
開催日時：2024年7月5日（金）13:00～16:30
受 講 料：46,200円（税込） ※ 資料付
会 場：【WEB限定セミナー】※在宅、会社にいながらセミナーを受けられます。
備 考
＜Webセミナーのご説明＞
本セミナーはZoomウェビナーを使用したWebセミナーです。
※ ZoomをインストールすることなくWebブラウザ(Google Chrome推奨)での参加も可能です。
お申込からセミナー参加までの流れは こちらをご確認下さい。
＜禁止事項＞
セミナー当日にZoomで共有・公開される資料、講演内容の静止画、動画、音声のコピー・複製・記録媒体への保存を禁止いたします。
配付資料について
・本セミナーの配付資料は印刷したものをレターパック等でお送りします。
・基本的にセミナー開催2日前までに発送いたします。
到着日はレータパック等の配送日数によります。
・ご指定が無い限り、お申込時にご記入の住所にお送りします。
・複数名でお申込みの場合、ご指定が無い限り、受講者1の方に全員分をお送りします。
・開催直前のお申込みは、当日までに資料が届かないことがあります。
お申し込み受付中
申込方法
下記のカートへの投入、あるいはFAX用紙にてお申込ください。
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講 師
徳田 規夫 氏
金沢大学 ナノマテリアル研究所 教授（リサーチプロフェッサー）
筑波大学でシリコンゲート絶縁膜、シリコン表面構造制御に関する研究で2005年に博士（工学）を取得。その後、産業技術総合研究所でポスドクとしてダイヤモンド研究を開始。主に、ダイヤモンド膜の成長制御技術を研究。2009年に金沢大学に助教として着任し、ダイヤモンド半導体ウェハ及びデバイスに関する研究を開始。2011年に准教授。2015年に金沢大学リサーチプロフェッサー。2018年度から2年間、産業技術総合研究所クロスアポイントメントフェローを兼務。2018年に教授。2020年度の1年間、京都大学化学研究所客員教授。2020年、株式会社KANAZAWA DIAMOND取締役を兼務。現在に至る。
主な学会活動
応用物理学会北陸・信越支部会・副支部長
応用物理学会薄膜・表面物理分科会・幹事
応用物理学会先進パワー半導体分科会・幹事
応用物理学会先進パワー半導体分科会第10回講演会・実行委員長
The 15th International Conference on New Diamond and Nano Carbons 2022・Program Committee Chair
主な受賞歴
令和5年度金沢大学功労表彰
第3回薄膜・表面物理分科会 論文賞
第38回（2016年度）応用物理学会優秀論文賞
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複数構成のセミナーの場合は第1部のみ対象
セミナーカテゴリー
材料技術､機能材料
界面・表面、フィルム、液状材料
光学、エレクトロニクス
セミナーの趣旨
ダイヤモンドは、極めて高い電子及び正孔の移動度、熱伝導率、そして絶縁破壊電界を持つことから省エネ・低炭素社会の実現に資する革新的なパワーデバイス材料として期待されています。本講演では、ダイヤモンドの魅力からダイヤモンド半導体研究の歴史について概説し、ダイヤモンドウェハ、半導体デバイス応用に関する研究開発の現状、課題、最新動向について、我々の研究成果（例：世界初反転層ダイヤモンドMOSFET 等）を中心に解説します。
プログラム
1-1 半導体材料としてのダイヤモンドの魅力
1-2 ダイヤモンド半導体研究の歴史
2. ダイヤモンドウェハ製造技術
2-1 成長技術（高温高圧, プラズマCVD, 熱フィラメントCVD）
2-2 不純物ドーピング技術
2-3 スライス・カット技術
2-4 研磨技術
3. ダイヤモンドダイオード
3-1 ショットキーバリアダイオード
3-2 PN接合ダイオード
3-3 ショットキーPNダイオード(SPND)
4. ダイヤモンドトランジスタ
4-1 MESFET
4-2 JFET
4-3 BJT
4-4 MOSFET
5. その他の半導体デバイス応用
5-1 深紫外線発光デバイス
5-2 電子放出デバイス
5-3 ダイヤモンド電気化学電極
6. まとめと今後の展開