～ 大口径ウエハと微細パターンの扱い ～
水の動きを一つの軸として、半導体洗浄が直感でわかるようになる！
基礎現象の理解から困った時の対策までの考え方を1日で説明します！
　
※ 本セミナーはZOOMを使ったLIVE配信セミナーです。会場での参加はございません。

R&D支援センターウェビナー

　　　　　　　開催日時：2023年7月21日（金）10:30～16:30
　　　　　　　開催場所：【WEB限定セミナー】※ 会社やご自宅でご受講ください。
　　　　　　　参 加 費：55,000円（税込）

定　員

　30名

備　考

【Zoomを使ったWEB配信セミナー受講の手順】
1）Zoomを使用されたことがない方は、 こちら からミーティング用Zoomクライアントをダウンロードしてください。ダウンロードできない方はブラウザ版でも受講可能です。
2）セミナー前日までに必ず動作確認をお願いします。Zoom WEBセミナーのはじめかたについては こちら をご覧ください。
3）開催日直前にWEBセミナーへの招待メールをお送りいたします。当日のセミナー開始10分前までに招待メールに記載されている視聴用URLよりWEB配信セミナーにご参加ください。

・セミナー資料は開催前日までにお送りいたします。
　無断転載、二次利用や講義の録音、録画などの行為を固く禁じます。

講　師

　反応装置工学ラボラトリ 代表 博士（工学）
　羽深　等 氏

【ご専門】
化学工学（反応工学）、半導体結晶ウエハ生産プロセス技術

横浜国立大学名誉教授、化学工学会シニア会員、化学工学会エレクトロニクス部会長、応用物理学会会員、日本結晶成長学会会員、米国化学会会員、米国電気化学会名誉会員、エレクトロニクス実装学会会員、空気清浄協会会員、よこはま高度実装技術コンソーシアム理事長

受講対象・レベル

洗浄とは何かを学びたい初心者、洗浄に関わる要点をあらためて整理したい技術者、洗浄技術を初めて指導・管理することになった管理者、将来の大口径・微細パターン洗浄の問題点を見抜きたい技術者。　

必要な予備知識

特に予備知識は必要ありません。
身近な流れ（蛇口から流れ落ちた水、川や雲の動きなど）を意識して眺めて頂くと、役に立ちます。
「洗いたい場所に必要な量だけ薬液を届けること」を意識して受講して下さい。　

習得できる知識

以下のことが分かります。

・先端材料の洗浄方法を構成する要素
・半導体にとって「清浄」とは何か
・キレイにするための表面の取扱い方
・洗浄の水流と気泡の使い方と整え方
・微細パターン洗浄条件の盲点　

趣　旨

　水の動きを軸に半導体洗浄を読み解き、基礎現象の理解から困った時の対策までポイントを1日で説明します。
　半導体にとって「清浄・きれい」とは何かを意識し、水の流れを動画で眺めると、洗浄とは何をどうする操作なのかが直感で分かります。ここでは、さまざまな薬液の役割を紹介し、乾燥の要点にも触れた後、身近な流れの動画を見て感覚をつかみ、大口径ウエハの枚葉式洗浄、バッチ式洗浄の流れを可視化観察動画と数値シミュレーション事例で具体的に理解します。超音波の効果についても流れと気泡の動画を見るとイメージが明確になります。今後、極めて微細なパターンを洗浄する場合に見落としがちな事についても示して行きます。
　最後には、足元をすくわれた時の視点と対策のポイントを整理します。
　「洗いたい場所に必要な量だけ薬液を届けること」を意識して受講すると、特に効果があります。

プログラム