★プラズマ内における活性粒子の反応過程など基礎的な解説から、粒子の分析に利用される各種計測法の原理や具体的な実施例、プラズマプロセスの最適化例を紹介！
　
※オンライン会議アプリzoomを使ったWEBセミナーです。ご自宅や職場のノートPCで受講できます。
【アーカイブ配信：3/30（月）～4/13（月）】受講を希望される方は、⇒《 こちら 》からお申し込み下さい。

R&D支援センターウェビナーのご案内

　　　　　　　開催日時：2026年3月27日（金）12：30～16:30
　　　　　　　開催場所：【WEB限定セミナー】※ 会社やご自宅でご受講ください。
　　　　　　　参 加 費：49,500円（税込）

定　員

　30名

備　考

【Zoomを使ったWEB配信セミナー受講の手順】
1）Zoomを使用されたことがない方は、 こちら からミーティング用Zoomクライアントをダウンロードしてください。ダウンロードできない方はブラウザ版でも受講可能です。
2）セミナー前日までに必ず動作確認をお願いします。Zoom WEBセミナーのはじめかたについては こちら をご覧ください。
3）開催日直前にWEBセミナーへの招待メールをお送りいたします。当日のセミナー開始10分前までに招待メールに記載されている視聴用URLよりWEB配信セミナーにご参加ください。

・セミナー資料は開催前日までにお送りいたします。
　無断転載、二次利用や講義の録音、録画などの行為を固く禁じます。
　
お申し込み受付中

申込方法

　下記のカートへの投入、あるいはFAX用紙にてお申込ください。

講　師

名城大学　理工学部　教授　博士（工学）　　竹田 圭吾 氏

【ご略歴】
平成19年3月　名古屋大学大学院工学研究科博士後期課程 修了
平成19年4月　名古屋大学大学院工学研究科　中核的研究機関研究員
平成20年4月　名古屋大学大学院工学研究科　助教
平成29年4月　名城大学理工学部電気電子工学科　准教授
令和4年4月　 名城大学理工学部電気電子工学科　教授
その他学協会・関連団体でのご活動など
・応用物理学会 会員
・応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 会員
・プラズマ・核融合学会 代議員
・CVD研究会 幹事

【ご専門】
プラズマの生成と診断

受講対象・レベル

　プラズマプロセス研究を始めたばかりの初学者（学生・若手研究者・社会人技術者）の方
プラズマプロセス研究に携わる方で、プラズマ診断技術に興味をお持ちの方

必要な予備知識

　特に予備知識は必要ありません。基礎から解説いたします。

習得できる知識

・プロセスプラズマの基礎的特性について理解できる。
・プロセスプラズマ内における活性粒子の生成・消滅（反応）過程について理解できる。
・活性粒子や荷電粒子の各種計測法の原理や、それらの実践方法について理解できる。
・活性粒子による反応メカニズムを考慮したプロセス条件の最適化について検討できる。

趣　旨

　低温プラズマを用いたプロセス技術は、我々の生活に欠かせない半導体デバイスをはじめ機械・電気部品などの広くモノづくりの現場で利用されており、さらに近年では医療やバイオ分野への応用研究も盛んに行われています。この低温プラズマは気体放電により生成されますが、それと同時にその内部では物理・化学的な作用をもたらす数多くの荷電粒子や中性活性粒子も気相中に生成されます。それら粒子が基材上に到達し、引き起こされる表面反応を利用した技術がプラズマプロセスです。そのため、それら粒子の診断・モニタリングすることがプロセス反応の理解とその最適化に向けた課題となります。今回紹介するプラズマの診断・モニタリング技術は、それら粒子の密度や状態を知るための重要なツールです。本講演では、まずプラズマ内における活性粒子の反応過程など基礎的な解説を行いつつ、それら粒子の分析に利用される各種計測法の原理と具体的な実施例について説明したのち、それを基にしたプラズマプロセスの最適化例を紹介します。以上を通じて、プラズマプロセスにおける活性粒子の診断とモニタリング技術を知って頂くとともに、本技術をもとに分析される反応メカニズムの理解、さらには活性粒子に関する知見を基にしたプロセスの最適化を検討して頂く契機となることを期待します。

プログラム