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大気圧下で安定な低温プラズマの生成技術とその大面積化の方法について実例とともに紹介!

R&D支援センターセミナー

       開催日時:2020年4月17日(金)12:30~16:30
       会  場:商工情報センター(カメリアプラザ) 会議室
                → 会場へのアクセス 
       参 加 費:49,500円(税込、資料付)

講 師

 パール工業㈱ 技術顧問 (工学博士)  佐伯 登 氏

【ご経歴】
1980年 大阪大学大学院 工学研究科 博士課程修了。ミノルタカメラ〈現コニカミノルタ〉などを経て、現在パール工業技術顧問。真空/大気圧プラズマプロセス、高周波応用技術の研究開発に従事。

定 員

 10名

受講対象・レベル

 薄膜材料及び表面処理・接着関連技術者

必要な予備知識

 特に予備知識は必要ありません。基礎から解説いたします

習得できる知識

 特に予備知識は必要ありません。基礎から解説いたします

趣 旨

 大気圧下で安定な低温プラズマの生成技術とその大面積化の方法について実例とともにやさしく紹介する。さらに、生成したプラズマを樹脂(高分子材料)に照射して表面に高分子ラジカルを生成、活性化することにより親水性の向上が図れることや、生成したラジカルを起点とするモノマーのグラフト重合反応により非粘着性が特徴のフッ素系の樹脂に対し親水性や接着性が付与でき、これにより金属メッキ処理が可能になることなどについて実例を示しながらわかりやすく解説する。最後に現状のまとめを行い、今後の課題について述べる。

プログラム

1. 大気圧プラズマの生成とその特徴
1-1.低温プラズマの生成方法(コロナ/誘電体バリアー/グロー放電)
1-2.吹き出し型リモートプラズマによる大面積化
1-3.プラズマ処理と親水(濡れ)性評価
1-4.プラズマ処理装置

2. 大気圧プラズマによる高分子材料の表面改質
2-1.プラズマグラフト重合法
2-2.オキシラジカル重合と遊離(生)ラジカル重合
2-3.プラズマグラフト連続処理装置
2-4.水分呼吸性と脱臭機能を有するポリエステル(PET)繊維

3. 大気圧プラズマ複合処理によるフッ素系フィルムの接着性の向上
3-1.フッ素系樹脂(PTFE,PFA,PCTFE)の特徴
3-2.複合処理装置とその性能評価
3-3.フッ素系フィルムの金属メッキ処理とその応用例

4. 大気圧プラズマ処理の金属・電子材料への応用
4-1.表面クリーニング
4-2.Siのエッチング
4-3.その他の応用例

5. まとめと今後の課題