化学品の市場調査、研究開発の支援、マーケット情報の出版

最新電鋳事情としてニッケル合金、貴金属電鋳によるMEMS部品生産の事例(薬品、装置)の一部を解説する。

R&D支援センターセミナー

       開催日時:2017年5月30日(火)10:30~16:30
       会  場:江東区文化センター 3F 第1研修室  → 会場へのアクセス 
       参 加 費:49,980円(税込、昼食・資料付)

講 師

 電鋳・表面改質技術研究所 代表  川上俊介 氏

<ご略歴>
 1981-1991年 新豆陽金属工業㈱
 1991-2016年 JX金属商事㈱
 2016年 – 現在 電鋳・表面改質技術研究所

定 員

 30名

受講対象・レベル

 電鋳、めっき関係に携わる研究者、生産技術者の方々(初心者から中級者)

趣 旨

 電鋳技術は古くから利用されており、金属のコピーといわれるレコード用スタンパーから、フォトリソ技術の融合によりDVD, BDのスタンパー、メタルマスク、印刷用メッシュ等の微細加工に普及してきた。近年では、通常の機械加工では製造が困難な高精度、超微細部品にその電鋳技術と微細加工技術の組み合わせによるMEMS部品の開発が進められている。
 今回の講演では、光ディスクマスタリング(ニッケル電鋳スタンパー製造)における、トラブルシューティングを通じ、ニッケル電鋳の基礎技術から、解決に至る工程を事例とともに紹介する。また、最新電鋳事情としてニッケル合金、貴金属電鋳によるMEMS部品生産の事例(薬品、装置)の一部を解説し、電鋳技術による新たな可能性を紹介する。

プログラム

1.はじめに

2.電鋳の特徴

3.光ディスクスタンパーのトラブルシューティング
 3−1.ニッケル電鋳によるスタンパー種類
 3−2.裏面突起による不良とは
 3−3.突起削減試験
  3−3−1.仕上げ電鋳条件による試験・結果
  3−3−2.アンモニア濃度管理による突起削減試験・結果
  3−3−3.光沢剤添加試験・結果
  3−3−4.フィルター見直し試験・結果
  3−3−5.ピット防止剤の選定及び濃度管理試験・結果
  3−3−6.最終決定条件によるロングランテスト結果

4.ニッケル合金による電鋳部品
 4−1.中空微細部品の製造工程
 4−2.ニッケル合金の特徴

5.ロジウムによる電鋳部品
 5−1.ロジウムの特徴
 5−2.ロジウムによるMEMS部品
 5−3.ロジウム電鋳の課題と対策
 5−4.ロジウム電鋳に適したウエファー用めっき装置

6.電鋳による新たな可能性について

7.おわりに

≪質疑応答・名刺交換≫