化学品の市場調査、研究開発の支援、マーケット情報の出版

初めてクリーンルームに携わる人のほか、一度体系的に学びたい方を対象に動画や実データを用いて分かり易く解説!

R&D支援センターセミナー

       開催日時:2016年12月15日(木)10:30~16:30
       会  場:商工情報センター(カメリアプラザ) 9F 会議室
                → 会場へのアクセス 
       参 加 費:49,980円(税込、昼食・資料付)

講 師

㈱テクノ菱和 技術開発研究所 所長 博士(工学) 田村 一 氏

【活動など】
 ・ISO/TC209/W1 国内委員会委員((社)日本空気清浄協会)
 ・東京理科大学建築学 科非常勤講師
 ・東京工業大学工学部建築学科 非常勤講師
 ・月刊「クリーンテクノロジー」編集委員(日本工業出版㈱)

定 員

 30名

趣 旨

 クリーンルーム技術の発展は、半導体製造用クリーンルームが牽引してきたといっても過言ではなく、これまで様々な汚染問題の検証や技術の開発がなされてきました。これらは、先人達が苦労して築き上げてきたものであり、論文や書籍等で伺い知る事ができます。一方、クリーンルームは様々な産業で使用されるようになってきているものの、各社でクリーン化を担当している方々におかれては、クリーンルームの基本的な維持管理など、相談する相手がいなかったり、先に述べた論文・書籍等を知らなかったり、様々な点で苦労していることが多いと思われます。
 本セミナーは、初めてクリーンルームに携わる人のほか、クリーンルームに関わる技術を一度体系的に学びたい方を対象に、クリーンルームの基礎知識を分かりやすく、動画や実データを用いて解説する予定です。
 つきましては、日頃の業務に役立てて頂きたく、ぜひ本セミナーにご参加下さいますよう、お願い申し上げます。

プログラム

※ 一部、内容が変更になる可能性がございます。

1.はじめに

2.クリーンルームの概要
 ・クリーンルームとは
 ・非一方向流と一方向流の違い(動画による比較)
 ・クリーンルームの指針や規格
 ・清浄度の決定・計算方法

3.クリーンルームの気流制御・局所化
 ・微粒子の挙動
 ・気流制御の要点(動画による解説)
 ・吸込口の位置影響
 ・グレーチングの効果
 ・局所化の実施例

4.クリーンルームの維持管理
 ・モニタリング
 ・作業者の管理、発塵源
 ・クリーンルームの清掃

5.ケミカル汚染対策
 ・ケミカル汚染とは
 ・測定方法と注意事項
 ・汚染対策(脱ガス、湿式除去方式の要点、既設改造時の注意事項)
 ・対策事例(有機フリーCR、イオンフリーCR)

6.イオナイザの発塵対策
 ・静電気対策の概要
 ・イオナイザの種類と特徴
 ・コロナ放電式イオナイザからの発塵とその対策
 ・軟X線イオナイザ

7.クリーンルームの省エネルギー
 ・主な省エネ手法
 ・省エネ事例(気化式加湿を利用した外気処理、低湿度対応CRの省エネなど)

【質疑応答・名刺交換】