化学品の市場調査、研究開発の支援、マーケット情報の出版

~反応性イオンエッチング、プラズマ支援原子層エッチング(PA-ALE)、熱原子層エッチング(thermal ALE)など~

※こちらは 7/7実施WEBセミナー のアーカイブ(録画)配信です。

R&D支援センターウェビナー【アーカイブ配信】のご案内

       配信開始日:2025年7月10日(木)
       配信終了日:2025年7月17日(木)
       参 加 費:55,000円(税込)

備 考

本セミナーは、約4時間15分の講演を収録したアーカイブ配信セミナーです。
申込者に限り、配信期間中はいつでも何度でもご視聴いただけます。

【アーカイブ配信セミナーの申込・受講手順】
1)このHPから受講申込をしてください。
2)申込後、受理の自動返信メールが届きましたら申込完了です。また確認後、すぐに請求書をお送りいたします。
3)視聴開始日までにセミナー資料と閲覧用URLをお送りさせていただきます。
 ※申込者以外の視聴はできません。録音・録画などの行為を固く禁じます。
 ※配布資料の無断転載、二次利用、第三者への譲渡は一切禁止とさせていただきます。

 
お申し込み受付中

申込方法

 下記のカートへの投入、あるいはFAX用紙にてお申込ください。

 FAX申込用紙PDF 

講 師

大阪大学 エマージングサイエンスデザインR3センター
特任教授 理学博士・Ph.D.   浜口 智志 氏

【略歴】
 1982年 東京大学理学部物理学科卒業
 1987年 同大学院理学系研究科物理学専攻博士課程修了
 1988年 ニューヨーク大学大学院数学科博士課程修了
 1988年-1990年 テキサス大学物理学科核融合研究所・研究員
 1990年-1998年 IBM ワトソン研究所・主任研究員
 1998年-2004年 京都大学エネルギー科学研究科・助教授
 2004年-2025年 大阪大学工学研究科・教授
 2025年-現在 大阪大学エマージングサイエンスデザインR3センター・特任教授

【学会活動等】
 国際真空科学技術応用国際連合(IUVSTA)プラズマ科学技術分科会(PSTD)長(2019-2021)、Journal of Plasma Medicine 編集委員長(2019-現在)、プラズマ医療国際学会(IPMS)会長(2015-2016)、米国真空学会(AVS) プラズマ科学技術分科会(PSTD)分科会長(2014)等歴任: 米国物理学会(APS)フェロー、米国真空学会(AVS)フェロー、応用物理学会(JSAP)フェロー

受講対象・レベル

 半導体プロセスや関連ガス、材料に関する研究開発・生産製造に携わる方
(初心者から中級者まで)

習得できる知識

・エッチング用プラズマ装置の基礎
・プラズマエッチングにおける物質表面化学反応の基礎
・反応性イオンエッチング、プラズマ支援原子層エッチング(PA-ALE)、熱原子層エッチング(thermal ALE)の特徴と応用 

趣 旨

 本講座では、最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術全体を、基礎となる物理化学原理から解説する。具体的には、ドライエッチングに用いられるプラズマ装置、装置内のプラズマの構造やダイナミクス、気相反応、および、反応性イオンエッチング(RIE)から、近年注目を集める原子層エッチング(ALE)にわたるドライエッチング技術に関して、プラズマ物質相互作用の物理機構から最新技術動向まで、詳しく紹介する。関連項目として、プラズマCVDと原子層堆積(ALD)プロセス、および、現在進行しつつあるプロセス開発におけるデジタル・トランスフォーメーション(DX)の最新研究動向についても、概要を紹介する。プラズマプロセスの初心者でも聴講できる講義内容を目指す。

プログラム

1.背景
  
2.プラズマ科学の基礎
  
3.代表的なプラズマプロセス装置

 a.容量結合型プラズマ(CCP)装置
 b.誘導結合型プラズマ(ICP)装置
  
4.反応性イオンエッチング(RIE)の基礎
 a.プラズマ表面相互作用
 b.表面帯電効果
 c.シリコン系材料エッチング反応機構
 d.金属・金属酸化物材料エッチング反応機構
 e.高アスペクト比(HAR)エッチング概要
  
5.プラズマCVD概要:原子層堆積(ALD)の基礎として
  
6.ALDプロセスの概要:原子層エッチング(ALE)の逆過程として

 a.熱ALD
 b.プラズマ支援(PA-)ALD
  
7.ALEプロセスの概要と最新技術動向
 a.PA-ALE
 b.熱ALE:リガンド交換
 c.熱ALE:金属錯体形成
  
8.半導体プロセス分野のデジタル・トランスフォーメーション(DX)
  
9.まとめ

  
<質疑応答>