~~大口径ウエハと微細パターンの扱い~~
水の動きを一つの軸として、半導体洗浄が直感でわかるようになる! 基礎現象の理解から困った時の対策までの考え方を1日で説明します!
※ 本セミナーはZOOMを使ったLIVE配信セミナーです。会場での参加はございません。
【アーカイブ配信:7/8~15(何度でも受講可能)】の視聴を希望される方は、 こちら からお申し込み下さい。
R&D支援センターウェビナー
開催日時:2024年7月5日(金)10:30~16:30
開催場所:【WEB限定セミナー】※ 会社やご自宅でご受講ください。
参 加 費:55,000円(税込)
定 員
30名
備 考
【Zoomを使ったWEB配信セミナー受講の手順】
1)Zoomを使用されたことがない方は、 こちら からミーティング用Zoomクライアントをダウンロードしてください。ダウンロードできない方はブラウザ版でも受講可能です。
2)セミナー前日までに必ず動作確認をお願いします。Zoom WEBセミナーのはじめかたについては こちら をご覧ください。
3)開催日直前にWEBセミナーへの招待メールをお送りいたします。当日のセミナー開始10分前までに招待メールに記載されている視聴用URLよりWEB配信セミナーにご参加ください。
・セミナー資料は開催前日までにお送りいたします。
無断転載、二次利用や講義の録音、録画などの行為を固く禁じます。
講 師
反応装置工学ラボラトリ 代表 博士(工学) 羽深 等 氏
【ご専門】
化学工学(反応工学)、半導体結晶ウエハ生産プロセス技術
【ご経歴等】
横浜国立大学名誉教授、化学工学会シニア会員、化学工学会エレクトロニクス部会長、応用物理学会会員、日本結晶成長学会会員、米国化学会会員、米国電気化学会名誉会員、エレクトロニクス実装学会会員、空気清浄協会会員、よこはま高度実装技術コンソーシアム理事長
受講対象・レベル
洗浄とは何かを学びたい初心者、洗浄に関わる要点をあらためて整理したい技術者、洗浄技術を初めて指導・管理することになった管理者、将来の大口径・微細パターン洗浄の問題点を見抜きたい技術者。
必要な予備知識
特に予備知識は必要ありません。
身近な流れ(蛇口から流れ落ちた水、川や雲の動きなど)を意識して眺めていただくと、役に立ちます。
「洗いたい場所に必要な量だけ薬液を届けること」を意識して下さい。
習得できる知識
以下のことが分かります。
・先端材料の洗浄方法を構成する要素
・半導体にとって「清浄」とは何か
・キレイにするための表面の取扱い方
・洗浄の水流と気泡の作り方、使い方と整え方
・微細パターン洗浄条件の盲点
趣 旨
水の動きを軸に半導体洗浄を読み解き、基礎現象の理解から困った時の対策までポイントを1日で説明します。
半導体にとって「清浄・きれい」とは何かを意識し、水の流れを動画で眺めると、洗浄とは何をどうする操作なのかが直感で分かります。ここでは、さまざまな薬液の役割を紹介し、乾燥の要点にも触れた後、身近な流れの動画を見て感覚をつかみます。次に、大口径ウエハの枚葉式洗浄、バッチ式洗浄の流れを可視化観察動画と数値シミュレーション事例で具体的に理解します。超音波や手動操作で生まれる流れについても、流れと気泡の動画を見るとイメージが明確になります。今後、極めて微細なパターンを洗浄する場合に見落としがちな事についても示して行きます。
最後には、足元をすくわれた時の視点と対策のポイントを整理します。
「洗いたい場所に必要な量だけ薬液を届けること」を意識して受講すると、特に効果があります。
プログラム
2. 洗浄の4要素(温度、時間、化学、力学):力学が最も大切である理由
3. 半導体の洗浄に特有のこと(洗浄で実現したい状態)
4. 先端技術情報(半導体洗浄を取扱っている国際学会・国内学会)
5. 半導体洗浄の基礎現象(薬液と流れの効果)
5-1. 化学で汚れを動かす操作:薬液の働き(付着・脱離・引き剥がす)と乾燥
5-2. 力学で汚れを動かす操作:流れ、熱、拡散
5-3. 装置内流れの種類(完全混合、押出流れ、境界層)
5-4. 流れの可視化観察(「流れ」と「拡散」の感覚を動画で)
6. 洗浄機内の流れと反応
6-1. 枚葉式洗浄機
(1)水の流れの実例(実機の観察動画とシミュレーションの例)
(2)ノズルのスイングを続ける工学的理由
(3)化学反応の例(表面反応もここまで分かる)
6-2. バッチ式洗浄機
(1)水の流れの実例(実機の観察動画とシミュレーションの例)
(2)水流を低コストで最適化した事例(入口と出口を変える)
(3)上下揺動で流れを巻き込む
6-3. 超音波の働き
(1)水と気泡の動きの実例(実機の観察動画)
7. 洗浄結果の評価方法
8. 狭い空間の洗浄(盲点と工夫)
9. まとめ:困った時の視点と対策(境界層を壊そう!)
10. まとめ:困らないように(地球環境は壊さない!)
【質疑応答】