水の流れを一つの軸として、半導体洗浄が直感でわかるようになる！
基礎現象の理解から困った時の対策までの考え方を1日で説明します！
　
※ 本セミナーはZOOMを使ったLIVE配信セミナーです。会場での参加はございません。

R&D支援センターウェビナー

　　　　　　　開催日時：2023年3月24日（金）10:30～16:30
　　　　　　　開催場所：【WEB限定セミナー】※ 会社やご自宅でご受講ください。
　　　　　　　参 加 費：55,000円（税込）

定　員

　30名

備　考

【Zoomを使ったWEB配信セミナー受講の手順】
1）Zoomを使用されたことがない方は、 こちら からミーティング用Zoomクライアントをダウンロードしてください。ダウンロードできない方はブラウザ版でも受講可能です。
2）セミナー前日までに必ず動作確認をお願いします。Zoom WEBセミナーのはじめかたについては こちら をご覧ください。
3）開催日直前にWEBセミナーへの招待メールをお送りいたします。当日のセミナー開始10分前までに招待メールに記載されている視聴用URLよりWEB配信セミナーにご参加ください。

・セミナー資料は開催前日までにお送りいたします。
　無断転載、二次利用や講義の録音、録画などの行為を固く禁じます。

講　師

　反応装置工学ラボラトリ 代表 博士（工学）　　羽深　等 氏

【ご専門】
化学工学（反応工学）、半導体生産プロセス技術

横浜国立大学名誉教授、化学工学会シニア会員、化学工学会エレクトロニクス部会部会長、応用物理学会会員、日本結晶成長学会会員、米国化学会会員、米国電気化学会名誉会員、エレクトロニクス実装学会会員、空気清浄協会会員、よこはま高度実装技術コンソーシアム理事長

受講対象・レベル

　洗浄に関わって2～3年以内の技術者、洗浄技術を初めて指導・管理することになった管理者。

必要な予備知識

　特に予備知識は必要ありません。
　受講日までに、川の水の流れや雲の動きなどを意識して眺めて頂くと、役に立ちます。

習得できる知識

　以下のことが分かります。
・先端材料の洗浄方法を構成する要素
・「清浄」とは目的に合わせた操作であること
・キレイにするための表面の取扱い方
・洗浄するための水流と気泡の使い方と作り方
・生産プロセスに共通して潜在する
　基礎現象（流れ・気泡などの動きと設計）の考え方

趣　旨

　水の流れを一つの軸にすると、半導体洗浄が直感でわかるようになってきます。それを目指して、基礎現象の理解から困った時の対策までの考え方を1日で説明します。
　半導体にとって「清浄・きれい」とは何かを考え、水の流れを動画で眺めると、洗浄とは何をどうすることなのかが感じ取れます。ここでは、身近な流れの動画を見て感覚をつかみ、枚葉式洗浄機とバッチ式洗浄機の流れを可視化観察動画と計算例で理解します。超音波の効果についても流れと気泡の動画を見るとイメージが湧きます。
　最後には、足元をすくわれた時の視点と対策を紹介して締め括ります。最近のこととしては、半導体電子回路の微細化が進むことに伴って取り入れるべき視点についても考えてみます。
　工学の初歩から応用のつながりまで説明しますので、半導体以外の洗浄や洗浄以外のプロセス技術者にも参考になります。

プログラム