★本講演では、ダイヤモンドウェハ、半導体デバイス、その他のデバイス応用に関する研究開発の現状、課題、最新動向まで解説!
※ 本セミナーはZOOMを使ったLIVE配信セミナーです。会場での参加はございません。
R&D支援センターウェビナー
開催日時:2022年10月19日(水)12:30~16:30
開催場所:【WEB限定セミナー】※ 会社やご自宅でご受講ください。
参 加 費:49,500円(税込)
備 考
・資料付(紙媒体での配布)※データの配布はありません。
・ご自宅への送付を希望の方は送付先住所をお知らせください。
⇒お届け先のご指定がない場合は、お申し込み時の住所宛に送付いたします。
【Zoomを使ったWEB配信セミナー受講の手順】
1)Zoomを使用されたことがない方は、 こちら からミーティング用Zoomクライアントをダウンロードしてください。ダウンロードできない方はブラウザ版でも受講可能です。
2)セミナー前日までに必ず動作確認をお願いします。Zoom WEBセミナーのはじめかたについては こちら をご覧ください。
3)開催日直前にWEBセミナーへの招待メールをお送りいたします。当日のセミナー開始10分前までに招待メールに記載されている視聴用URLよりWEB配信セミナーにご参加ください。
・無断転載、二次利用や講義の録音、録画などの行為を固く禁じます。
講 師
金沢大学 ナノマテリアル研究所 教授 博士(工学) 徳田 規夫 氏
【ご専門】
半導体工学
【ご略歴】
株式会社Kanazawa Diamond・取締役
株式会社VISION IV・技術顧問
応用物理学会薄膜・表面物理分科会・幹事
応用物理学会先進パワー半導体分科会・幹事
受講対象・レベル
・ポストSiC、GaNパワーデバイスに興味をお持ちの方。
・ダイヤモンドウェハ及びデバイス開発状況に興味をお持ちの方。
必要な予備知識
・特に予備知識は必要ありません。基礎から解説いたします。
習得できる知識
・ダイヤモンドの基礎的な知識が得られる。
・ダイヤモンド半導体研究の歴史・魅力を理解できる。
・ダイヤモンドウェハ及びデバイスに関する要素技術と課題を理解できる。
趣 旨
ダイヤモンドは、極めて高い電子及び正孔の移動度、熱伝導率、そして絶縁破壊電界を持つことから、省エネ・低炭素社会の実現に資する革新的なパワーデバイス材料として期待されています。また、近年ではダイヤモンド中の窒素-空孔(NV)中心を用いた室温動作の量子デバイス/センサへの応用が期待されています。
本講演では、ダイヤモンドの魅力からダイヤモンド半導体研究の歴史について概説し、ダイヤモンドウェハ、半導体デバイス、そしてその他のデバイス応用に関する研究開発の現状、課題、最新動向について、我々の研究成果(例:世界で初めて実現した反転層チャネルダイヤモンドMOSFET 等)を中心に解説します。
プログラム
1-1 半導体材料としてのダイヤモンドの魅力
1-2 ダイヤモンド半導体研究の歴史
2 ダイヤモンドウェハ製造技術
2-1 成長技術(高温高圧, プラズマCVD, 熱フィラメントCVD)
2-2 不純物ドーピング技術
2-3 スライス・カット技術
2-4 研磨技術
3 ダイヤモンドダイオード
3-1 ショットキーバリアダイオード
3-2 PN接合ダイオード
3-3 ショットキーPNダイオード(SPND)
4 ダイヤモンドトランジスタ
4-1 MESFET
4-2 JFET
4-3 BJT
4-4 MOSFET
5 その他のデバイス応用
5-1 深紫外線発光デバイス
5-2 電子放出デバイス
5-3 ダイヤモンド電気化学電極
5-4 ダイヤモンド中窒素-空孔(NV)中心を用いた量子デバイス/センサ
6 まとめと今後の展開以上
【質疑応答】